ABM全自研光刻机量产项目落户广东佛山周二，佛山市人民政府、顺德区人民政府与ABM公司签订合作协议，年产百台（套）光刻机及先进封装核心设备生产基地项目落户佛山。ABM公司总部位于香港，在全球半导体光刻设备领域拥有显著优势。此次落户佛山的ABM光刻机及先进封装核心设备生产基地项目，是广东唯一的光刻机量产项目，拟选址顺德区北滘镇，首期将建成光刻机、涂胶显影设备及晶圆键合机等核心设备生产基地，规划三年内实现年产百台（套）光刻机及先进封装核心设备的产能。未来，项目将打造成为全球领先的光刻机及先进封装核心设备生产基地，涵盖高端设备制造基地、尖端研发中心及先进封装中试线。
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佛山日报、
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