台积电熊本第一工厂水处理设施亮相
日前，半导体代工企业台积电向媒体公开了熊本第一工厂的水处理设施。其设备用于净化工厂的大量用水，75%的作业用水为循环利用。公司希望通过减轻环境负担，回应当地对地下水减少的担忧。该设施是去年12月工厂正式投产后首次公开，位于厂房地下二层，占地面积约 2.2 万平米。据运营子公司 JASM 介绍，抽取的地下水在用于清洗半导体材料晶圆后，经再处理可循环用于清洗或净化排气，平均可使用四次。此外，据悉当在排水阶段检测到异常时，设施将自动停止排放并进行再处理。据介绍，熊本第一工厂未使用日本国内管制的有机氟化合物。
—— 共同社
日前，半导体代工企业台积电向媒体公开了熊本第一工厂的水处理设施。其设备用于净化工厂的大量用水，75%的作业用水为循环利用。公司希望通过减轻环境负担，回应当地对地下水减少的担忧。该设施是去年12月工厂正式投产后首次公开，位于厂房地下二层，占地面积约 2.2 万平米。据运营子公司 JASM 介绍，抽取的地下水在用于清洗半导体材料晶圆后，经再处理可循环用于清洗或净化排气，平均可使用四次。此外，据悉当在排水阶段检测到异常时，设施将自动停止排放并进行再处理。据介绍，熊本第一工厂未使用日本国内管制的有机氟化合物。
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