美国再关切ASML EUV光刻机恐流入中国知情人士透露，美国商务部长卢特尼克已在近来的一连串会议中，向荷兰芯片设备巨头阿斯麦 (ASML）高管表达关切，担心ASML的极紫外光（EUV）光刻机可能已流入中国大陆，违反美国主导的出口管制。ASML则否认这个说法。卢特尼克向ASML高管针对该公司的EUV光刻机表达关切，在一场涵盖一系列议题的会议上，提出了这个问题。对此，ASML则已反驳卢特尼克的说法，表示完全没有任何一台EUV在中国大陆。 EUV尺寸相当于一辆校车、产量有限，且需要公司员工持续维护，由于美国政府主导的出口管制，ASML不得出口EUV系统到中国大陆。
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台湾经济日报、
彭博社